主軸是超精密機床的“心臟”，在精密機床的生產(chǎn)加工中起著非常重要的作用。而且，主軸的驅(qū)動方式將直接影響超精密機床主軸的回轉(zhuǎn)精度，因此必須予以充分重視。

超精密機床主軸在運行中有三種驅(qū)動方式。

1、 電動機帶輪驅(qū)動

早期的超精密車床的主軸都采用這種滑輪由電動機通過的方式驅(qū)動時，驅(qū)動滑輪有兩種方法：一種是固定主軸殼體，所述馬達被發(fā)送到經(jīng)由帶接地的主軸;另一個被固定在主軸殼體上的電機，所述主軸外殼可以移動，被布置為便于機器的整體。

皮帶傳動的最大優(yōu)點是電機主軸和超精密主軸對相對位置精度要求不高。電機采用直流電機或交流電機，無齒輪無級調(diào)速，減少振動。電機的振動和發(fā)熱對超精密機床主軸的影響很小。

電機的振動和加熱對超精密機床的主軸有很大的影響。 電機必須采用高精度軸承進行嚴格的精密動平衡。 同時，電機底座和主軸底座之間必須采用避震隔熱，以減少電機振動和加熱對超精密主軸的影響

現(xiàn)在超精密機床大多采用T型整體布局，即主箱為Z向運動，刀架滑板為X向運動..此時的主軸箱被稱為運動部件，采用電機驅(qū)動通過主軸驅(qū)動方式，很不方便，電機不能有單獨的基礎(chǔ)..因此，現(xiàn)在大多數(shù)超精密機床都采用電機和機床主軸直接連接的驅(qū)動方案..

2，通過一個撓性聯(lián)軸節(jié)闕東主軸電動機

馬克是您的直流電機（或交流變頻電機），并通過柔性聯(lián)軸器與機床主軸連接。這時，機床主軸的電機主軸處于同一軸線上。電機應(yīng)進行精密動平衡，電機軸和機床主軸在安裝過程中應(yīng)盡可能同軸，并通過柔性聯(lián)軸器消除電機軸和機床主軸不同軸引起的振動和旋轉(zhuǎn)誤差。這種驅(qū)動方式在超精密機床中應(yīng)用較多。

3. 內(nèi)置同軸電機驅(qū)動主軸

即電機軸是機床的主軸..這種電機是特制的，電機的轉(zhuǎn)子直接加載在機床主軸上，電機的定子加載在主軸箱內(nèi)，電機本身沒有軸承，而是依靠機床的高精度空氣軸承。采用無刷直流電機，電機可以方便地進行主軸無級變速，消除刷子引起的摩擦振動。為了使主軸盡可能獲得最高的旋轉(zhuǎn)精度，電機轉(zhuǎn)子在加載主軸后應(yīng)通過精密動態(tài)平衡，電機轉(zhuǎn)子與定子之間的間隙應(yīng)均勻，使驅(qū)動力均勻穩(wěn)定。電機定子應(yīng)采取通風(fēng)降溫等措施，以減少因溫升引起的熱變形..

同軸機和主軸電機，不僅提高了旋轉(zhuǎn)主軸的精度，烘箱主軸Z方向運動，滑塊支架的X方向移動。 Z方向和X方向引導(dǎo)坐在侵入性工具本體，以使得所述機器布局結(jié)構(gòu)大為簡化，容易增加導(dǎo)軌的運動的準確度。