在超精密機床和超精密加工，以使微位移機的分辨率進一步提高，同時也為機床和加工誤差進行補償，以提高形狀精密加工，需要使用微位移機構(gòu)。高精度微自由基機理已經(jīng)成為一個重要的超精密機床及關(guān)鍵功能部件。現(xiàn)在微位移機構(gòu)已達到0.005--0.01微米的分辨率，這對于實現(xiàn)高的尺寸精度的加工誤差和補償線有用。

一。微量進給裝置要求

在超精密機床中，利用微進給裝置夾緊金剛石刀具，對刀具進行微調(diào)。 如在超精密磨削中，砂輪進給要求達到百分之幾微米; 在超精密車削中，金剛石刀具要保證亞微米的精度。

還采用微自由基機制來彌補超精密機床的微內(nèi)聯(lián)誤差，要求位移分辨率達到幾微米..因此，良好的精密和超精確位移機構(gòu)應(yīng)滿足以下要求：

（1）進料和微妙的原油原料應(yīng)分開，以提高精確度，分辨率和穩(wěn)定性的微位移。

（2） 為了獲得高的重復(fù)精度，運動部件必須具有低摩擦和高穩(wěn)定性。

(3)最終傳動元件必須具有高剛度，即金剛石刀具的夾緊位置必須具有高剛度。

（4）微進給機構(gòu)內(nèi)部的連接必須可靠，盡量保持最小的間隙和剛性連接，否則微進給機構(gòu)很難達到高重復(fù)性。

（5）技術(shù)好，容易地制造。為了達到0.01微米飼料，微量元素機構(gòu)本身的進給精度，應(yīng)該是精度可以制造。

微進給裝置有多種結(jié)構(gòu)形式，其工作原理也各不相同。根據(jù)精密和超精密微進給裝置的要求，只有彈性變型和壓電陶瓷微進給機構(gòu)比較適合和成熟。

2. 彈性變形微進給裝置

彈性變形微進給器穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好..這種變形微進給裝置非常適合手動操作。

3. 壓電陶瓷微進給裝置

為了實現(xiàn)全自動微進給，要求微進給裝置具有較好的動態(tài)特性，現(xiàn)多采用壓電陶瓷微進給裝置..壓電陶瓷具有逆壓電效應(yīng)和電致伸縮效應(yīng)，這是介電變形在電場作用下的基本電耦合效應(yīng)。電致伸縮效應(yīng)的變形量與電場強度的平方成正比。壓電陶瓷在制造微型進給機構(gòu)方面具有許多優(yōu)點..

他可以實現(xiàn)高剛性無間隙位移可以實現(xiàn)極為精細微位移，更大的變形系數(shù)。高頻率響應(yīng)，無熱量問題使沒有電流。