隨著人們對產品質量和精度的關注，越來越多的企業開始使用超精密機床進行生產加工。但是，在超精密機床的制造過程中，結構相對復雜，因此對機床的材料要求也很高。由不同材料制成的機床的特性也不同。過去，床身和導軌的材料都是鑄鐵的。現在，隨著科學技術的發展，材料變得豐富起來。

靜壓導軌通常由絲杠驅動。為避免絲杠與螺母摩擦產生爬行，可采用滾珠絲杠。滾珠絲杠副一般是標準件，可以使用。但隨著步行速度的提高，熱沖擊成為一個嚴重的問題。因此，有些使用靜液壓螺釘。靜壓絲桿結構復雜，需要自制。在絲杠與螺母的結合面上，油槍由壓力油形成，使結合面不直接接觸，提高了導軌的傳動穩定性。

近年來，為了提高導軌運動的平穩性，超精密機床采用摩擦驅動或鋼輥驅動導軌。 這些新的驅動方法已應用于超精密機床，并取得了良好的效果。

根據超精密機床主軸驅動原理，介紹了超精密機床制造過程中床身和導軌的材料..

1、 優質耐磨鑄鐵

鑄鐵是傳統的床身導軌材料，具有工藝精良的優點。 精密機床的床身和導軌應選用耐磨性好、熱膨脹低、減振能力強、時效消除應力的優質合金鑄鐵。

2、 花崗巖

花崗巖現在是人們用來制造床身的材料，也是三坐標測量機和超精密機床的導軌。這是因為花崗巖比鑄鐵具有更好的長期尺寸穩定性，更低的熱膨脹系數，比鋼具有更高的多次振動衰減能力，高硬度，耐磨性和無銹性。

當花崗巖被用作底座時，通常使用塊狀物，并在底座上鉆孔螺母，以便與其他部件連接。 導軌通常是用花崗巖制成的。 但是花崗巖的加工比較困難。 氣體靜壓軸承節流孔的加工在花崗巖中較為困難，因此導軌采用花崗巖和鋼材制成，以便加工。

花崗巖的主要缺點是吸濕性，吸濕性產生微量變形，影響精度。為了降低花崗巖表面的吸濕性，人們提出了在花崗巖表面涂上某種涂層。

3、 人造花崗巖

花崗巖吸濕性，無法施展。為了解決這個問題，人造花崗巖制成國外。這是一個花崗巖粉碎材料并通過粘接得到的樹脂。人造花崗巖可以由減振能力的人造花崗巖的不同粒徑花崗巖體積比的組合來提高比天然花崗巖，和容易成型，低熱導率更高。