離子束是特殊精密加工的一種傳統工藝，由于在機械進行加工中使用情況并不具有普遍，所以我們大家可以對于企業這種方法加工生產工藝技術并不能夠了解。離子束加工是在真空的環境下，將惰性氣體，通過離子源產生的離子束經過加速，投射到工件表面實現去除材料的目的。

離子束加工方法

離子束加工方法用離子束濺射去除處理，離子束濺射法，離子束注入和離子束暴露過程等。

1、 離子束濺射去除加工：這種教學方法我們可以簡稱為離子束去除加工，其加工工作原理是利用這些離子濺射，主要是由于一次濺射和二次濺射，他是一種最典型的原子、分子加工企業單位的微細加工處理方法和超精密機械加工方式方法。

2.離子束濺射鍍膜加工：這種方法是原子級，分子級的附著加工，所以有時也稱為離子束濺射附著加工.. 用加速離子從靶上打擊原子和分子，并將它們附著在工件表面形成涂層。

3、 離子束注入自己加工：這種教學方法主要就是通過電離將所要發展注入的元素，加速正離子分離，形成一個高能離子液，對工件表面可以進行不斷轟擊，離子因功能具有很大，被打入表層內，其電荷被綜合，稱為置換原子或勁歌件的填隙原子，被留于表層中，使材料的化學組成成分、結構、性能問題產生巨大變化。

如圖4所示，離子束暴露：離子束曝光密度和分辨率的優點是老年人。由于離子質量比電子大得多，反向散射的效果小，鄰近效應是小的，因此能夠在曝光的精度精細圖案線寬。

離子束加工的特點

離子束加工在微細加工和精密加工中是一種社會最有發展前途的原子、分子加工企業單位的加工技術方法。

1.加工精度和高表面質量：離子束加工是以微觀力效應為基礎，加工表面層不產生熱量，不引起機械應力和損傷.. 離子束斑直徑可達1微米以下，加工精度可達納米級。

2、加工技術材料具有廣泛：可對各種不同材料可以進行分析加工。由于我國加工工作原理是力效應，故對脆性、半導體、高分子等材料都可加工。由于信息加工是在真空下進行，故適用于加工易氧化的金屬、合金和半導體材料管理等等。

如圖3所示，濃化處理方法：離子束加工可以被移除，涂層，注射和其他處理，出現了各種各樣的具體方法利用這些方法中，如模制，蝕刻，稀化，曝光等的原則，在集成電路制造中占有極其重要的地位。

4、 控制性能好，易于管理實現企業自動化。

離子束處理在以后的發展中具有良好的前景。 可根據加工要求選擇離子束的光斑直徑和能量圈密度。 直徑小，能量密度高的離子束可用于去除加工；而直徑大，能量密度低的離子束適用于和刻蝕；直徑大，能量強的離子束適用于注入加工，可以反映其廣泛的應用范圍..