精密機(jī)械制造中測量數(shù)據(jù)技術(shù)發(fā)展十分具有重要，因?yàn)槲覀儨y量的精確度會直接通過關(guān)注了成品的精度要求以及生活質(zhì)量。在進(jìn)行分析精密加工的時候，微細(xì)圖形設(shè)計尺寸的測量是十分常見的，它主要是指大規(guī)模的集成系統(tǒng)電路中的掩模板和硅片上的圖形線條寬度、線間距問題以及硅片上的線條深度的測量。

測量線寬間距的測量儀器有比較測量和直接測量兩種..

1、 比較測量法

此方法將被測量和參考材料是圖形比較，以確定所述標(biāo)準(zhǔn)模式和產(chǎn)生的，以實(shí)現(xiàn)正確的圖案，以確定制造圖案之間的差異。該方法主要適用于檢測所述掩模，使用透射光照明。

掩膜檢查儀主要研究采用的是兩種單色光源照明，紅色光和綠色光分為不同照明設(shè)計基準(zhǔn)掩膜和被測掩膜。并分別需要經(jīng)過一定倍數(shù)相同的纖顯微物鏡，成像在同一視場的像面上。由于市場基準(zhǔn)圖形與被測圖形具有相同，合像之后，兩圖形我們完全沒有一致會呈現(xiàn)一個黑色。當(dāng)被測圖形有缺陷時，則缺陷處會出現(xiàn)一些紅色文化或者企業(yè)綠色，可以通過直接通過人眼進(jìn)行有效投影屏的觀測。

2、 直接測量

（1） 電視測量

電視測量是通過顯微鏡，電視攝像機(jī)所形成的電視圖像，將獲得的圖像測量成一定大小的樣品.. 主要測量數(shù)據(jù)來自電視信號，根據(jù)測量目標(biāo)不同的光學(xué)特性，可以選擇不同靈敏度和分辨率的攝像機(jī).. 此外，應(yīng)根據(jù)數(shù)據(jù)處理能力的大小和速率選擇不同的存儲器和微處理器..

（2）的光電倍增管測量系統(tǒng)

光電倍增管測量控制系統(tǒng)主要是由光學(xué)電子顯微鏡、掃描狹縫、光電倍增管及使用計算機(jī)等組成。光源照明被測件，經(jīng)過物鏡和輔助物鏡成像在掃描狹縫附近，被光電倍增管接收，用顯微密度計可以形成發(fā)展輪廓信息送入網(wǎng)絡(luò)計算機(jī)對這個目標(biāo)輪廓數(shù)據(jù)進(jìn)行研究分析，從而能夠確定線邊緣的位置。

（3）激光掃描系統(tǒng)

使用激光束的相干性來掃描物體表面。當(dāng)攜帶某個標(biāo)記的物體的表面，只要激光束落在標(biāo)記的邊緣時，會產(chǎn)生衍射現(xiàn)象，光能量的變化。和光學(xué)系統(tǒng)接收光的能量轉(zhuǎn)換為電信號通過感光構(gòu)件，從而精確地測量各種尺寸的標(biāo)記物平面的相互位置。

（4） 掃描進(jìn)行電子通過顯微鏡

掃描電子顯微鏡在小尺寸測量中的應(yīng)用是一種理想的方法。 它利用高聚焦的電子束在光柵模式下掃描被測樣品，通過檢測樣品發(fā)射的二次電子來獲得線寬。 常用的電子顯微鏡有兩種：一種是透射電子顯微鏡，另一種是掃描電子顯微鏡。