微細圖案鋁件機加工尺寸測量一定程度上有一定難度，它是主測量是在晶片上的線的大規模集成電路晶片和分劃板，行間距和深度上的線圖案的寬度。這是不能確定測量精度的簡單方法，并且它主要依賴于線寬度測量儀以兩種方式比較測量的直接測量處理。

那么我們比較進行測量和直接影響測量的方法是怎樣的呢？

1、 鋁件機加工比較測量

比較測量方法是用于基準圖形進行比較的，來判斷要制造的圖形與標準圖形的差異，從而確定制造圖形是否正確。這種方法大多采用透射光照明，主要是適用于掩膜版的檢測。

用兩個單色光源分別照射參考掩模和被測掩模，紅光和綠光，分別通過相同倍數的顯微鏡在同一視場的圖像表面上成像。 因為基準圖形與被測圖形相同，所以將圖像組合后，如果兩個圖形完全相同，則會出現黑色.. 當被測圖形有缺陷時，缺陷要么是紅色的，要么是綠色的，由人眼通過投影屏幕觀察。

另外，還可以通過采用圖形設計研究數據與所做出的掩模進行分析比較、對照，從而檢測出缺陷，鋁件機加工這種方式方法是比較理想的方法，但數據信息處理問題比較復雜，實現企業比較困難。

2、 鋁件機加工直接測量

（1） 電視測量

電視測量是由顯微鏡和電視攝像機形成的電視圖像，并將獲得的圖像處理成一定大小。 主要測量數據來自電視信號，根據測量目標不同的光學特性，可以選擇不同靈敏度和分辨率的攝像機.. 此外，應根據數據處理的大小和速率選擇不同的存儲器和微處理器。

電視進行測量像點的輸出信號強度主要取決于圖像的亮度，故需要學生良好的光學顯微鏡。由于在全視場的圖像亮度以及不同會造成企業不同的測量研究結果。如相同的尺寸的線條，由于中國照明不均勻、被測物體本身的差異及接收靶各部分通過不同的靈敏度，會得出對于不同的結果，因此應正確合理選擇使用閾值電平。

（2） 光電產業倍增管測量控制系統

光電倍增管測量系統主要是由點血顯微鏡、掃描狹縫、光電倍增及計算機等組成。光源（透射或反射）照明被測件，經物鏡和輔助物鏡成像在掃描狹縫附近，被光電倍增接收，用顯微密度計形成輪廓送入計算機對這個輪廓進行分析，從而確定線邊緣的位置。

（3）激光掃描系統

利用機床光束的相干性在物體表面可以進行分析掃描。當物體表面載有某種標記時，只要激光束落在標記邊緣上，就會發展產生衍射的現象，光能量管理發生時間變化。光學信息系統數據接收光能量并通過光敏元件轉換成電信號，從而能夠精確地測量物面上出現各種問題標記的相互影響尺寸位置。

（4）掃描電子顯微鏡

在掃描電子顯微鏡的微小尺寸測量中的應用是理想的測量方法。這是一個測試樣品由具有高聚焦，鋁件機加工通過檢測從所獲得的樣本值的線寬發射的二次電子的電子束光柵掃描。以兩種方式使用的電子顯微鏡：一種是透射型電子顯微鏡，另一個是掃描電子顯微鏡。