電子器件制造裝置用高純炭素制品

生產以記憶芯片為代表的電子器件，要經過多種處理工藝。圖所示為有關形成電子器件回路的硅片處理工序。

硅片外延處理工序。在此工序中，以硅片為基板，在其表面生成同樣的硅單晶的同時，通過摻加不純物而形成p型層或n型層。外延工藝一般以CVD法(化學氣相沉淀)為主流。其裝置的概略如圖所示。工藝流程為，用氟酸將硅片清洗，干燥后，貼置于基座上，然后加熱升溫，通入鹽酸除去硅片表面的氧化層，生成外延層。基座要求選擇具有不能伴有金屬污染、耐高溫及耐鹽酸腐蝕、不與硅反應、沒有氣體發生等特性的材料。作為能滿足這些要求的材

料，一般使用以高純炭素制品為基材，通過CVD法在基材表面進行高純SiC涂層的基座。

氧化、擴散工序。對于硅材料器件而言，這個工序是形成絕緣膜的最重要的工序。形成絕緣膜的方法有高溫氧化法和CVD法。在單體處理式的等離子體CVD方法中，高純炭素制品既是等離子體的放電電極，也是硅片的支撐板。其裝置概略如圖所示。這里所使用的材料，同樣要求不能使用中伴有金屬污染，而且需具有誘發等離子發生的導電性，以及對反應氣體、電極板清洗氣體的抗腐蝕性。為了解決石墨內部微量不純物的發生問題，有時也使用在表面進行玻璃炭涂層或熱分解涂層，或者浸漬的炭素制品。現在，單體式裝置正在逐步減少，而代之以枚葉式裝置。

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